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0.1~0.5μm ≤20000 個 /m3；0.5~1μm ≤4000 個 /m3；1~5μm ≤100 個 /m3。

檢測水分（壓力露點）

昆明雨季空氣濕度大，重點管控；

精密電子要求：壓力露點≤-40℃；封裝≤-50℃

露點過高→管路生銹、電路板受潮氧化、點膠分層

氮氣總含油量（油霧 + 油蒸汽）
限值≤0.1mg/m3；無塵車間≤0.01mg/m3

油污染會導致焊盤不上錫、元件絕緣失效、涂層針孔

氣態雜質（按需檢測）可選擇壓縮空氣質量檢測儀進行對氮氣中油含量進行檢測。